Похожие работы на «Магнетронные распылительные системы»

Магнетронные распылительные системы
Физика, Магнетронные распылительные системы, Реферат ... на рисунке 3.1 в, г. Катод из распыляемого материала выполняется в виде трубы (при этом распыляется внешняя поверхность катода, смотри рисунок 3.1 в) ...
... расстояния от мишени, поэтому эффективное [pic] Рисунок 3.2 - Конструкции магнитных систем магнетронных распылителей распыление достигается только


Расчет неинвертирующего усилителя
Радиоэлектроника, Расчет неинвертирующего усилителя, Курсовая ... непрерывную подачу аргона; 3 - катод - мишень из материала, подлежащего распылению и осаждению; 4 - вакуумный колпак из нержавеющей стали; 5 - экран, ...
... в разряде (область зажигания разряда I). При увеличении тока разряда за счёт уменьшения сопротивления Rн площадь катода-мишени, покрытая разрядом, ...


Физические свойства вакуумно-плазменных покрытий для режущего инструмента
Технология, Физические свойства вакуумно-плазменных покрытий для режущего инструмента , Работа Курсовая ... то, что при распылении катод является как источником распыляемого материала, так и источником электронов, поддерживающих разряд, анод также принимает ...
... распылительной системе катод (мишень) помещается в скрещенное электрическое (между катодом и анодом) и магнитное поле, создаваемое магнитной системой.


Фотоэлектрические свойства нитрида алюминия
Физика, Фотоэлектрические свойства нитрида алюминия , Диплом и связанное с ним ... мишени в реакционном газе и протекание реакций с образованием соединений на поверхности мишени, на подложке или в пространстве "мишень-подложка", где ...
Наличие замкнутого магнитного поля у распыляемой поверхности мишени позволяет локализовать плазму разряда непосредственно у мишени.


Технологические основы электроники [нестрогое соответствие]
Радиоэлектроника, Технологические основы электроники, Реферат ... из тугоплавких металлов, перспективных для микроэлектроники; 2) наносить на подложку соединения и сплавы без диссоциации и фракционирования, т. е. без ...
... нормальное катодное падение напряжения, при котором распыление пренебрежимо мало; J-плотность разрядного тока; р-давление рабочего газа; L- расстояние ...


Вакуумное напыление [нестрогое соответствие]
Технология, Вакуумное напыление, Реферат Действие магнетронного распылителя основано на распылении материала мишени-катода при его бомбардировке ионами рабочего газа, образующими в плазме ...
Метод магнетронного распыления с постоянной силой тока не позволяет получать плёнки оксидов при высокой скорости распыления из за резкого окисления ...


Магнитометры [нестрогое соответствие]
Металлургия, Магнитометры, Реферат ... газ К вакуумному насосу Держатель с подложкой Постоянное напряжение 4 кВ ВЧ - генератор 3-300 МГц Газовый разряд при низком давлении можно возбудить ...
В случае последовательного напыления: сверхпроводящая пленка - барьер - сверхпроводящая пленка - последнюю пленку можно нанести методом катодного ...


Магнитометры на сквидах [нестрогое соответствие]
Технология, Магнитометры на сквидах, Курсовая ... газ К вакуумному насосу Держатель с подложкой Постоянное напряжение 4 кВ ВЧ - генератор 3-300 МГц Газовый разряд при низком давлении можно возбудить ...
В случае последовательного напыления: сверхпроводящая пленка - барьер - сверхпроводящая пленка - последнюю пленку можно нанести методом катодного ...


Сверхпроводящие материалы в электронике. Магнитометр на СКВИДах [нестрогое соответствие]
Физика, Сверхпроводящие материалы в электронике. Магнитометр на СКВИДах, ... газ К вакуумному насосу Держатель с подложкой Постоянное напряжение 4 кВ ВЧ - генератор 3-300 МГц Газовый разряд при низком давлении можно возбудить ...
В случае последовательного напыления: сверхпроводящая пленка - барьер - сверхпроводящая пленка - последнюю пленку можно нанести методом катодного ...


Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов [нестрогое соответствие]
Технология, Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов, Курсовая ... термического расширения, но и следствие структурной неоднородности плёнки и подложки. [pic] Получение защитных пленок Si3N4 этим методом проводиться в ...
Наносят защитные пленки нитрида кремния в установках катодного распыления на постоянном токе с холодным или горячим катодом.